A المجهر الإلكتروني الماسح(SEM) هو نوع من المجهر الإلكتروني يستخدم لمسح الأسطح الميكروبية، والذي يستخدم شعاع إلكتروني متحرك منخفض الطاقة لتركيز العينة ومسحها ضوئيًا.
ويعزى تطور المجهر الإلكتروني إلى عدم كفاءة الأطوال الموجية للمجهر الضوئي. بالمقارنة مع المجاهر الضوئية، تتمتع المجاهر الإلكترونية بأطوال موجية عمودية قصيرة وبالتالي تحقق دقة أفضل.
مبادئ المجهر الإلكتروني الماسح
على عكس المجهر الإلكتروني النافذ، الذي يستخدم الإلكترونات المرسلة، يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح الإلكترونات المنبعثة.
يعمل المجهر الإلكتروني الماسح عن طريق تطبيق الطاقة الحركية لإنتاج إشارات حول التفاعلات الإلكترونية. هذه الإلكترونات عبارة عن إلكترونات ثانوية وإلكترونات متناثرة وإلكترونات مبعثرة مرتدة، تُستخدم لمراقبة العناصر البلورية والفوتونات. يتم استخدام الإلكترونات الثانوية والإلكترونات المتناثرة لإنتاج الصورة. تلعب الإلكترونات الثانوية المنبعثة من العينة دورًا رئيسيًا في الكشف عن شكل العينة وتضاريسها، بينما تظهر الإلكترونات المتناثرة تباينًا في التركيب العنصري للعينة.
